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国産装備の性能検証を強化し、測定研究装備を開発する内容が核心だ。 ... 標準研が出した代表的な成果は半導体製造用フッ化水素の国産化支援だ。

国産装備の性能検証を強化し、測定研究装備を開発する内容が核心だ。 標準研は１３日にオンライン記者懇談会を開き、この２年間の素材・部品・