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「 半導体製造用フッ化水素 」 の情報 

韓国、日本の輸出規制2年…「素材・部品・装備競争力強化の背景は標準研究」

国産装備の性能検証を強化し、測定研究装備を開発する内容が核心だ。 ... 標準研が出した代表的な成果は半導体製造用フッ化水素の国産化支援だ。

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