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ポスコ、半導体用向け希少ガス「ネオン」生産設備や技術の国産化に成功 - 亜洲経済

また、これを通じて抽出したネオンをTEMCが独自の技術で精製した後、完成品のエキシマレーザーガスまで生産する全工程の国産化を完成した。 今回竣工した設備は

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