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【韓国】ポスコ、半導体向け希ガスを国産化(NNA) - Yahoo!ニュース

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同社は今回、生産したネオンを用いてエキシマレーザーガスまで生産する全工程を国産化した。 ネオンは半導体の露光工程で使用されるエキシマレーザーガスの関連キーワードはありません

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