ポスコ、半導体向け希ガスを国産化 - NNA ASIA・韓国・化学

同社は今回、生産したネオンを用いてエキシマレーザーガスまで生産する全工程を国産化した。 ネオンは半導体の露光工程で使用されるエキシマレーザーガスの原料関連キーワードはありません