中国のリソグラフィー装置次世代モデル 輸入博で初公開

販売中のSSC800シリーズKrFおよびSSB800シリーズI-line機種は、独自開発のデュアルワークステージプラットフォームを基盤とし、いずれも国産独自の大型NA対物関連キーワードはありません