中国がEUV光源の試作機を初公開、国産化率90％を主張も量産にはあと3〜5年 | XenoSpectrum

朗道燧岩が上海でEUV光源試作機を初展示し、国産化率90％と説明した。公式仕様とASMLの開発経緯から、低出力と高出力の段階差、入力レーザーとEUV出力の関連キーワードはありません