UBS：中国の国産EUV、10年以内の量産は困難 液浸DUVは最短2～5年で突破も

UBSグループの最新リサーチによると、中国の極端紫外線（EUV）露光装置分野における技術成熟度は、ASMLの2004年時点の水準に相当するに過ぎず、今後10年以内関連キーワードはありません