【分析】中国で国産半導体装置の採用比率が35%に―国産化進展も部品・露光技術に課題

国産化の進展が目立つのは、エッチング、薄膜形成、熱処理、洗浄などの工程である。北方華創科技集団、中微半導体設備、盛美半導体設備（上海）、拓荊科技などの関連キーワードはありません