中国が国産ArF液浸露光装置の量産を開始 海外メディア報道 - マイナビニュース

中国の上海拠点企業が国産のArF液浸露光装置の量産を開始したと複数の海外メディアが報じている。それらの報道によれば、製造装置は2026年中にSMIC、Hua関連キーワードはありません