中国、国産ＤＵＶ露光装置の生産開始 無名国有企業が主導 - NewsPicks

Fanny Potkin ［シンガポール ２８日 ロイター］ - 中国企業が先端半導体製造に不可欠な技術である国産の液浸深紫外（ＤＵＶ）露光装置の量産を開始したことが、関係関連キーワードはありません