中国、半導体製造装置の国産開始か 米ＩＴメディア報道、市場は動揺 - 時事通信

【北京時事】米ＩＴ専門メディアのジ・インフォメーションは２７日、中国上海に拠点を置く政府系企業が、先端半導体の量産に使われる「液浸型深紫外線（ＤＵＶ）露光関連キーワードはありません