中国、国産ＤＵＶ露光装置の生産開始 無名国有企業が主導 - ロイター

中国企業が先端半導体製造に不可欠な技術である国産の液浸深紫外（ＤＵＶ）露光装置の​量産を開始したことが、関係者の話で分かった。半導体製造技術の‌自立を関連キーワードはありません