中国国産の液浸DUV露光装置が小規模量産開始、2026年は5台出荷計画 - BigGo ファイナンス

中国の半導体製造装置の国産化が新たな段階に入った。海外メディアの報道によると、上海の政府系企業が国産液浸深紫外線（DUV）露光装置の小規模量産を開始関連キーワードはありません