中国が「半導体製造装置の自給自足」に苦戦している理由（後編） - EE Times Japan

中国が「半導体製造装置の自給自足」に苦戦している理由（後編）：EUV露光装置には数十年単位の壁（1/2 ページ） · 露光以外の装置で進む置き換え、部材国産化も加速.関連キーワードはありません