中国企業が初の国産DUV露光装置をテスト、米国の輸出規制を突破する可能性―香港メディア

AIざっくり要約 · 中国企業が国産の深紫外線(DUV)露光装置の開発を進めている。 · この装置は、オランダのASMLと同様の液浸システムを採用しており、28nmプロセス関連キーワードはありません