中国が国産初の電子ビームリソグラフィー装置開発に成功：精度はASML級 - XenoSpectrum

... 国産商業電子ビームリソグラフィー装置「羲之（Xizhi）」が正式に発表されたのだ。0.6ナノメートル（nm）という驚異的な精度を誇るこの装置は、量子チップ関連キーワードはありません